智能數(shù)顯壓力傳感器如何進(jìn)行過(guò)載保護(hù)？
點(diǎn)擊次數(shù)：2515 更新時(shí)間：2020-12-15
智能數(shù)顯壓力傳感器是集壓力測(cè)量、顯示、控制于一體的智能控制儀表，具有操作簡(jiǎn)單，抗震性好，控制精度高，控制范圍可任意調(diào)節(jié)，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
智能數(shù)顯壓力傳感器過(guò)載保護(hù)，過(guò)載就是負(fù)荷過(guò)大，超過(guò)了設(shè)備本身的額定負(fù)載，產(chǎn)生的現(xiàn)象是電流過(guò)大，用電設(shè)備發(fā)熱，線(xiàn)路長(zhǎng)期過(guò)載會(huì)降低線(xiàn)路絕緣水平，甚至燒毀傳感器設(shè)備或線(xiàn)路。
過(guò)載保護(hù)就是即使負(fù)荷超過(guò)了額定負(fù)載也不會(huì)出現(xiàn)燒壞線(xiàn)路的情況，但是也有一個(gè)度，一般是150%的范圍內(nèi)，而且不能持續(xù)過(guò)載工作。
數(shù)顯壓力傳感器有很多形式，每種結(jié)構(gòu)形式的過(guò)載保護(hù)都不同，例如采用MEMS技術(shù)的小量程、高靈敏壓力傳感器通常有平膜、島膜、梁膜等結(jié)構(gòu)，在設(shè)計(jì)過(guò)載保護(hù)時(shí)，一般采用凸臺(tái)等方法實(shí)現(xiàn)，形成方法有背部刻蝕技術(shù)、硅直接鍵合技術(shù)、玻璃刻蝕技術(shù)等。然而這些結(jié)構(gòu)一般都有一個(gè)很大的局限性就是腔體尺寸較大，進(jìn)一步提高靈敏度受到限制，而且降低了硅片利用率，增加了制造工藝的復(fù)雜度，提高了生產(chǎn)成本。
目前，小量程、高靈敏壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器，這主要是因?yàn)闋奚鼘咏Y(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片很薄，厚度可做到2μm，甚至更薄。在這樣薄的結(jié)構(gòu)上，如果采用擴(kuò)散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻，其厚度相對(duì)較大，對(duì)彈性膜片應(yīng)力分布影響很大，不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化，因此采用多晶硅納米薄膜制作應(yīng)變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。
考慮到智能數(shù)顯壓力傳感器在使用過(guò)程中可能會(huì)出現(xiàn)實(shí)際測(cè)量壓力超過(guò)量程的狀況，設(shè)計(jì)過(guò)載保護(hù)功能是*的，這樣能讓壓力傳感器使用的更久。用戶(hù)在選用數(shù)顯壓力傳感器的時(shí)候，一定要考慮數(shù)顯壓力傳感器的過(guò)載能力，結(jié)合自己使用傳感器的測(cè)量環(huán)境，選擇合適的數(shù)顯壓力傳感器。
